江苏海珐机械制造有限公司

   当前，全球顶级芯片正朝着高算力、高集成度和低功耗方向快速发展。AI算力领域以 NVIDIA Blackwell 平台为代表，服务器CPU领域以 AMD EPYC 系列为核心，高端手机芯片则以 Apple A系列芯片为行业标杆。而在这些先进芯片的制造过程中，除了光刻机、刻蚀机和封装设备外，化工泵同样是不可缺少的重要核心设备。

    芯片制造是一个高度精密的过程，涉及光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP化学机械抛光、清洗及封装等数百道工艺步骤。在这些工艺中，需要大量输送高纯酸液、碱液、有机溶剂、超纯水（UPW）以及电子化学品。化工泵负责这些介质的稳定输送与循环，其运行稳定性直接影响芯片良率和生产安全。

    在光刻和刻蚀工艺中，化工泵需要输送硫酸、氢氟酸、显影液等高腐蚀性液体，因此泵体通常采用PFA、PVDF、PTFE等高洁净耐腐蚀材料，避免金属离子污染。为了满足先进制程对洁净度的要求，很多半导体工艺会采用无泄漏磁力驱动泵或隔膜泵，以减少颗粒污染和液体泄漏风险。

在CMP抛光工艺中，化工泵需要输送含有纳米级颗粒的抛光浆料，对泵的耐磨性、流量稳定性及脉动控制能力要求极高。而在清洗设备中，化工泵则负责超纯水循环输送，保持流量、温度和压力稳定，确保晶圆表面洁净。

    此外，在芯片制造厂的数据中心与冷却系统中，高效率循环泵也承担着冷却液输送的重要任务。随着AI芯片功耗不断提升，液冷技术正在快速发展，对高可靠、高效率冷却泵的需求也持续增加。

未来，随着2nm、1nm等先进制程不断推进，芯片制造对化工泵的洁净度、耐腐蚀性、稳定性和智能化控制能力将提出更高要求。高端化工泵将在全球半导体产业链中发挥越来越重要的作用。

江苏海珐机械制造有限公司是由成立于1958年的江苏利工集团有限公司冶金工业部钢铁研究总院靖江不锈钢泵阀厂改制成立，主要生产API610化工流程泵- OH1泵、OH2泵、OH3泵、OH4泵，BB1泵、BB2泵、BB3、BB4、BB5多级泵，VS1、VS4、VS5、VS6筒袋泵，HES型化工流程泵，化工泵，石化泵，第六代超低碳不锈钢高质无泄漏熔融尿素泵，尿素水解器进料泵，高温沥青泵，皮托管泵，旋喷泵，熔盐泵、液下泵、磁力泵、低温液氢、高压液氢泵、高温硝酸磁力驱动泵，输送含固介质磁力泵，工业泵，屏蔽泵，渣浆泵，四氯化钛泵，强自吸泵，衬氟泵，夹板衬氟泵，无泄漏泵，脱硫脱硝泵、碱泵，泵，地热泵、油泵，轴流泵，印染泵，染整泵，Ti合金泵，C-276材质，哈氏合金，316L，强制循环泵、第四代核电泵、核岛泵、压滤机专用泵，冷媒泵、长轴液下泵，CQC一级能效化工泵，高压除磷工业泵，中国化工泵。www.jslgpump.com  联系电话：13905263417  E-mail: jslgpump@gmail.com   E-mail: jsareva@163.com